透過精密洗淨技術，為各樣製造設備之良率提升及成本降低帶來貢獻。
21世紀的數位網路化時代，在引領全球半導體界的台灣，正以各大晶圓代工廠為首，急速地發展各種細微化技術。
利用台灣三菱化學之精密洗淨技術，從微米到奈米級,目視看不到的污漬（如微粒子、金屬等）皆可精細地去除。
藉由此類高精密度之洗淨技術及表面改質技術，能夠為顧客端產品良率提升及降低生產成本。
去除細微粒子
利用台灣三菱化學之洗淨技術去除附著於零件表面之細微粒子。
去除陶瓷溶射塗層面之變質層
在不改變粗糙度前提下去除陶瓷溶射塗層面之變質（氟化）層以降低微粒。
憑藉EDX分析以判斷是否去除氟元素（氟元素會變成綠色）
氟離子大幅減少
去除金屬表面之變質層
去除鋁材表面之變性層（氟化物）以降低微粒。
亦可去除氣孔內部之變質層。
去除研磨材
可完全清除經過噴砂處理後殘留之研磨砂材。
提供超高潔淨度之表面狀態
可將最先進製程使用後殘留於零件表面之不純物（金屬、微粒）去除到極限為止，並賦予其高附加價值。
降低金屬污染
可降低金屬污染到ppt等級，進而為產品良率帶來貢獻。
矽(Si)電極經洗淨處理後之金屬溶出分析結果
| Na | K | Ca | Mg | Al | Fe | Cr | Ni | Cu | Mn | Zn | Ti | Si | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 本公司洗淨後 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <10 | <10 |
| 他社洗淨 | 3 | 1 | 1 | 1 | 23 | <1 | <1 | 26 | <1 | <1 | 1 | <10 | <10 |
| 原廠洗淨 | 6 | 3 | 5 | <1 | <1 | 2 | <1 | <1 | <1 | <1 | 2 | <10 | <10 |
（單位：ppb）
工作概況
